晶圓廠

有鑒於氣候變遷為環境、生存與國家安全帶來的威脅日益漸增，全球已有超過130個國家提出「2050淨零排放」的宣示與行動。而台灣以「矽島」之名立足全球，更仰賴堅強半導體科技實力，成為全球產業發展背後重要的供應鏈一環，面對永續發展議題更是責無旁貸。對此，我國不只公布了「台灣2050淨零排放路徑及策略總說明」及「12項關鍵戰略行動計畫」，更核定「淨零排放路徑112–115年綱要計畫」，針對淨零碳排目標進行各面向的減緩與調適，以期能提升台灣在綠色產業的競爭力。特別是無所不在的「晶片」已滲透到各行各業，使得半導體產業上下游更需群策群力，加速規劃淨零碳排的策略與解決之道。根據環境部提供的2023年數據，全台半導體製造業共有132間廠房，數量之多為各產業之最，而碳排放量則為2131.3萬噸，佔整體（2.14億噸）的10%。「因此我們必須嘗試從範疇一的環節中著手找出解決方法，」國立台北科技大學化學工程與生物

人工智慧、手機、電腦、電動車，現代科技幾乎離不開半導體，而半導體也很難離開有全氟及多氟烷基物質（PFAS）。PFAS因不易分解，有「永遠的化學物質」之稱。由於PFAS與癌症、肝腎、心血管疾病的相關疑慮上升，近年掀起禁用或限用管制潮。但半導體的微影製程、電漿處理等1000多個奈米製程都會用到PFAS。業者研發替代品的同時，也組成聯盟遊說政府降低監管，並稱嚴厲的監管將讓產業「倒退數十年」。PFAS聯盟砸錢遊說立法者 避開環保監管2022年開始，美國加州、馬里蘭州、明尼蘇達州等陸續提出限制使用PFAS的法規。4月，眾議會議員提出「永久化學品監管和責任法」（ FCRAA），希望10年內逐步淘汰所有非必要用途的PFAS。因應這些限制，美國半導體產業協會（SIA）成員與供應鏈組成PFAS聯盟（PFAS Consortium），且於去（2023）年提出報告，聲稱尋找更安全的替代品「幾乎是不可能的」，並警

美國眾議院23日以257票對125票通過《晶片美國製造法案》（Building Chips in America Act），放寬對聯邦政府資助的半導體工廠的環境審查，接著將送往白宮，交由總統簽字生效。《Politico》獨家來源指出，雖然環境團體極力反對，但白宮官員週二（24日）透露，總統拜登（Joe Biden）將簽署同意。美國於2022年通過《晶片法案》（CHIPS and Science Act），提供390億美元資金的補貼，吸引了大量半導體業投資。不過，業者須根據《國家環境政策法》（NEPA）先完成環境審查，然後才能獲得資金。台積電、美光、英特爾等半導體建廠時程，恐因聯邦環評審查而延後。

台積電在歐洲第一座晶圓廠，於德國時間20日在德勒斯登舉行動土典禮。會中宣布台積電已取得50億歐元德國補助措施；同時為了永續發展的目標，台積電將規劃打造成「綠色晶圓廠」，目標2027年投產。台積電首座歐洲晶圓廠落腳德國，生產汽車與工業應用晶片動土典禮上，包含台積電董事長魏哲家、歐盟執委會主席范德賴恩（Ursula von der Leyen）、德國聯邦總理蕭茲（Olaf Scholz）都出席見證。這座晶圓廠由台積電、德國博世（Bosch）、英飛凌（Infineon）及恩智浦半導體（NXP）合資成立的「歐洲半導體製造公司（ESMC）」運營，台積電持股70%，博世、英飛凌、恩智浦各持有10%股份，並由曾在博世德勒斯登晶圓廠的廠長克伊區（Christian Koitzsch）掌舵，擔任ESMC總經理。德國廠將生產用於汽車與工業應用的成熟製程12奈米至28奈米晶片，預計2029年全面投產，月產能為4

砲火猛烈聲中，環保署環評大會昨（8日）通過「中科擴建二期」案。為滿足半導體產業發展需求，國科會在既有中科台中園區西側規劃擴建二期，預計引進2奈米晶圓廠，耗水、耗電量大，不少民眾出席反對，環保團體也呼籲業者須在2030年達成100%綠電使用。開發單位中科管理局表示，中科擴建二期工期約五年，營運後每年將有5000億元產值、可增加4000人就業機會。2奈米廠耗大量水電 環團憂延宕中火脫煤 要求提前自籌綠電因應國內2奈米晶圓廠用地需求，行政院2022年初核准在台中大雅及西屯區、既有中科台中園區西側開發「中科擴建二期」。歷經三次環評初審，昨（8日）進入環評大會審查，多位民眾到場表達不滿，要求環委不應倉促放行。台灣健康空氣行動聯盟研究員趙慧琳表示，中科擴建二期用電需求高達925MW，換算年用電量達81億度，是2021年台中市總用電量的24%、台積電全台總用電量的47%。中科擴建二期用電量增加，勢必拉高

台積電打算在竹科打造二座三奈米最新製程研發中心，昨（18）日進行環評時，台積電除了承諾研發中心將有20%使用再生能源，也說明台積電未來的能源規劃，為80%天然氣、20%綠能。台積電興建中的南科三奈米廠與還在環評階段的竹科三奈米研發中心都已承諾使用20%綠電。台積電強調，目標是向台灣本地購買綠電，如果是向國外購買綠電憑證，將無助於台灣的環境。80%購買天然氣  就等電力自由化考量台積電用電量大，又很倚賴穩定電力，18日的環評會議中有環評委員建議台積電自行興建民營電廠（IPP），以應付颱風或極端氣候的考驗。對此，台積電資深處長莊子壽回覆，台積電對供電品質的要求很高。由於小系統（指IPP）不會比台電大系統更穩定，因此台積電並無計畫自行興建IPP。他也指出，希望電力自由化盡早落實，讓企業有電力穩定供應的選項，台積電的未來電力規劃是80%天然氣、20%綠能。

台積電預計在新竹科學園區打造二座全球最新研發中心，除了為南科即將建成的3奈米晶圓廠準備，也為台積電未來10到15年攻下製程研發鋪路。為此，竹科園區管理局特別提出32.72公頃的擴建計畫，環保署於今（18）辦理擴建案環評初審。除了晶圓廠最關鍵的用水、用電問題外，由於鄰近新城斷層、地處山坡地、加上竹科擁塞的交通因應措施未說明清楚，環評委員要求補件再審。此外， 32.72公頃位於新竹寶山鄉，其中包含了3.22公頃的住宅用地，在地民眾表達希望農地保留的意願，希望住宅區重新擇地規畫。研發人才集中  竹科仍為研發中心首選台積電從竹科起家、近年逐步往中科、南科設廠，台積電最新3奈米廠近日通過環評落腳南科、預計2020年動工。但考量研發人才已在北部落腳，台積電打算在竹科新建二座最先進「製程研發與先期量產」廠，再將生產技術導入中、南科大規模量產。由於竹科土地不足，竹科管理局特地為此提出32.72公頃的擴建計

台積電3奈米新晶圓廠落腳南部科學園區的台南園區，投資額高達6000億元，成為政府拚經濟的重要指標。不過，因此大量增加的水、電哪裡來？南科雖然承諾使用再生水、20%使用綠電、與節電措施多管齊下，水利署與台電也均掛保證，但今（14）日進行的環評審查，仍因水電供應資料不足，決議補件再審。水利署台電掛保證沒有用  環保署要看數據台積電3奈米廠設廠南科，預計2020年建廠，最快2022年底開始量產。為了建廠需求，南科台南園區提出環境影響差異分析（環差），將預估用電量增加88萬瓩，達到299.5萬瓩；每日用水量增加7.5萬噸，達到32.5萬CMD（噸／每日）；每日污水放流則增加5.2萬噸。環評委員鄭明修表示，88萬瓩相當一個林口電廠的機組，每天的脫水污泥136噸要堆到哪裡？每天還要處理24.8萬噸的污水，這些數字大到驚人。

去年爭取台積電3奈米廠落腳失利後，南科高雄園區提出園區用地與配置的變更調整，把原本規劃的住宅用地全刪除，騰出更多可供設廠的土地，以解決缺地問題。在24日環保署舉行的環差案第一次初審中，南科副局長何晉滄表示，這次的變更以3奈米與5奈米晶圓廠的需求作為規劃根據。這可能也顯示高雄市仍未放棄日後要繼續爭取半導體廠業設廠。不過，由於空污、廢污水與廢棄物排放，以及用水、用電量都可能比變更前大幅增加，且當初通過環評時並沒有進行對環境與居民健康可能影響的評估，因此小組要求此案補件再審。南科高雄園區即為過去的「南科園區路竹基地」。何晉滄指出，這次的變更，是想要妥善利用既有園區，因此重新檢討土地使用效率，提出的變更內容包括了土地使用分區調整，與將收受台南園區的土方40萬立方公尺。在土地使用的分區上，此案將變更服務設施用地、也將把住宅區變更為廠房用地，最明顯的是製造業廠房用地將增加38.6公頃，從原規劃的216

「這是超車英特爾的關鍵時刻！」環署3日進行中科台中園區擴建計畫的環差案小組初審，台積電10奈米晶圓廠因為製程的改變，而提出營運階段排放化學物質項目的變更。中科與台積電皆強調，這是台積電與英特爾、三星在晶圓龍頭之爭的重要時刻，要求各方支持。在環署副署長詹順貴親自出馬擔任主席下，第一次初審便獲得修正後通過的建議，只待環評大會的確認。此案需補件的項目為，本次增減運作或衍生各化學物質檢測來源、濃度（含檢測圖譜）、暴露劑量、致癌、非致癌風險及風險管理對策，及納入鈷、氫氧化四甲基銨等處理回收設施風險管理策略。為了讓台積電的10奈米晶圓廠落腳台中大肚山彈藥庫原址，中科提出台中園區擴建案。雖然就選址在中科一二期周遭的大肚山彈藥庫，面積僅為53.08公頃，且有原用水核配量充足、污水處理設施可共用等優點，但由於當地居民不滿再將減少綠地、影響生態，更對台中地區再增加空污傷害健康，而不停表達不滿的立場。當時擴建環

環保署昨17日將「污水經處理後注入地下水體水質標準」更名為「注入地下水體水質標準」，同時新增21項有害健康物質，包含二氯乙烯、戴奧辛等全數納入管制，未來均不得檢出，這是該標準近13年來最大幅度修正，預計衝擊化工業、晶圓半導體業、石化業、光電材料業。環保署說明，為強化污水經處理後注入地下水之管理，民國91年時就已制定「污水經處理後注入地下水體水質標準」，盼降低廢污水對環境的污染風險和環境累積性，後來環保署陸續針對「化工業、晶圓半導體製造業、光電材料元件製造業、石化業、石化專區汙水下水道，及科學園區汙水下水道」訂定不同的放流水標準，但是地下水體水質標準卻有將近13年未修正。環保署水保處科長林宏達說明，因此在參考飲用水標準等法規後，本次新增21項有害健康物質，包含二氯乙烯、四氯乙烯、二氯甲烷和戴奧辛等全數納入管制。此外，包含「國際癌症研究中心（IARC）致癌性第一類物質」或「勞動部優先管理的化學

環署12日舉行273次環評大會，其中位在台中大肚山彈藥分庫的中科台積電18吋晶圓廠擴建案仍充滿爭議，數十個民間團體前往現場強調要將「污染門神」抓起來，更點名有公衛背景的環評委員陳美蓮失職守。而此案在眾多民間團體到場旁聽與發言的狀況下，環署署長魏國彥宣佈擇日舉辦延續會議。此案在初審時因健康風險一路受爭議，但仍在8月底第四次初審時通過小組，並在上月底進行意見確認會議，於12日進行大會準備確認通過。雖然在確認會議中，中科提出不會使用六價鉻、放流水銅濃度現值2mg/L等承諾，但此結果讓民間團體相當不滿，認為小組僅談污染量的增量，卻忽視了中部地區已污染嚴重，應考量整體排放的總量。因此在273次大會之前，環團便不斷發聲，並將之前會議影音放上網路，更點名有公衛背景的環評委員陳美蓮，指出其對「環境背景值應否納入其健康風險估算」的發言有失職守，沒有為中部地區居民的健康把關。